為了應(yīng)對高功率激光系統(tǒng)對光學(xué)薄膜元件性能的要求，在確保薄膜具有一定性能的基礎(chǔ)提高薄膜的激光損傷閾值，一直是高功率激光薄膜的中心工作。激光薄膜研制已經(jīng)從單純考慮薄膜制備技術(shù)向損傷機制、測試、膜系設(shè)計、基底、膜料、后處理和使用環(huán)境控制等多方面環(huán)節(jié)延伸，全自動激光管板焊機。

      認(rèn)識光學(xué)薄膜的激光損傷是提高激光薄膜損傷閾值工作的基礎(chǔ)，薄膜的激光損傷一直是高功率激光薄膜研究的熱點問題。光學(xué)薄膜的激光損傷是一個極其復(fù)雜的過程。它取決于激光參數(shù)（波長、脈寬、偏振態(tài)、模式、光斑和輻照方式等）及光學(xué)薄膜的性質(zhì)（薄膜光學(xué)特性、膜料、制備工藝、薄膜結(jié)構(gòu)和缺陷密度等）兩方面。對不同的薄膜材料、制備方法、激光參數(shù)以及激光輻照方式，損傷過程和損傷機理有很大的差異性。目前，雖然人們對激光誘導(dǎo)光學(xué)薄膜損傷的過程還沒有完全淸楚，但對于在不同激光脈沖寬度作用下光學(xué)薄膜發(fā)生損傷的初始吸收機制有了比較明確的認(rèn)識，全自動激光管板焊機如圖1所示。

      同時，人們在不同吸收機制的基礎(chǔ)上，陸續(xù)提出了光學(xué)薄膜損傷的雪崩離化、多光子吸收、節(jié)瘤缺陷、熱爆炸損傷、熱彈損傷以及等離子體爆炸損傷等模型。這些模型并不是普適的，激光與薄膜相互作用過程中往往包括了多個過程及多種過程的耦合。多種模型的建立一方面說明激光與薄膜相互作用過程的復(fù)雜性，另一方面也說明了人們對光學(xué)薄膜的激光損傷的認(rèn)識在不斷地發(fā)展，全自動激光管板焊機。

      在對薄模損傷機制的研究中，比較突出的成果是有關(guān)駐波場、溫度場的研究，以及基頻激光損傷的雜質(zhì)吸收和節(jié)瘤缺陷的研究。在光學(xué)薄膜駐波場和溫度場損傷的基礎(chǔ)上，人們提出了駐波場設(shè)計、溫度場設(shè)計和激光保護(hù)膜的概念，目前這些方法已發(fā)展為激光薄膜的重要設(shè)計方法，而雜質(zhì)吸收和節(jié)瘤缺陷是導(dǎo)致基頻激光薄膜損傷的最主要因素，全自動激光管板焊機。

      國際上多個實驗室給出了光學(xué)薄膜在納秒激光作用下從初始激光能量沉積到雜質(zhì)吸收誘導(dǎo)基質(zhì)材料非線性吸收，從而引起吸收區(qū)域不斷從雜質(zhì)到基質(zhì)材料發(fā)展，以及后續(xù)等離子體區(qū)域從形成到增長，最后引發(fā)光學(xué)薄膜損傷的整個過程的理論模型，全自動激光管板焊機。

      在光學(xué)薄膜的節(jié)瘤缺陷研究方面，美國勞倫斯 利弗莫爾國家實驗室(LLNL)對節(jié)瘤缺陷的成因、結(jié)構(gòu)以及由此引起的駐波場、溫度場和應(yīng)力場的分布有了深人了解，并且提出了節(jié)瘤缺陷的抑制技術(shù)。我們實驗室在髙功率激光薄膜的損傷機制和損傷過程研究中也做了很多工作，并取得了很多有價值的成果，包括電場和溫度場設(shè)計 、表面、界面吸收模型、熱力損傷模型，以及近年研究并發(fā)表的光學(xué)薄膜在短脈沖和超短脈沖作用下的損傷機制和紫外納秒脈沖激光對光學(xué)薄膜損傷的物理模型等成果，全自動激光管板焊機。